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金属电容真空压力计
产品特性
■ 高精度、高稳定性
■ 耐磨损、耐腐蚀性
■ 耐高过载特性
■ 优异的抗干扰设计
■ 工作温度范围宽
产品应用
■ 半导体处理室
■ PECVD 过程控制
■ 等离子体灭菌器
■ 核工业、铀浓缩
产品概述
金属电容真空压力计专为低真空测量设计，本产品采用金属电容式原理，将镍基合金 膜片焊接在两个电极前端，通过膜片的形变来改变膜片与电极的距离变化，从而产生一个线 性的电容变化量，再配合专用的调理电路，将电容量转换成 mV 信号，经过信号放大、线性 调理、抗干扰设计等输出标准信号的一体化产品。
产品参数
| 量程 | 0…1torr；0…10torr; 0…100torr； 0…1000torr |
| 供电 | 15…30VDC |
| 输出 | 0…10VDC； 0…5VDC； |
| 精度 | 0.2%FS；0.5%FS；1.0%FS@25℃ |
| 补偿温度 | 0…50℃ |
| 介质温度 | -20…80℃ |
| 存储温度 | -40…85℃ |
| 温漂 | ≤0.04% FS/℃ |
| 稳定性 | 0.5%FS/年 |
| 响应时间 | ≤20mS |
| 测量介质 | 与镍基合金兼容的气体 |
| 外壳材质 | 304SS |
| 膜片材质 | 镍基合金 |
| 电流消耗 | ≤10mA |
| 输出负载 | >10KΩ |
| 电气连接 | 见接线方式 |
| 过程接口 | 见外形图 |
产品外形
接线方式
选型指南
产品型号：VM01-S4-U1-101-C1-E3
参数说明：VM01型金属电容真空压力计；量程：0-10Torr；输出：0-10VDC；
供电：15-30VDC；过程接口：KF16； 电器接口：DB-15
2026-01-07 本文被阅读 次
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